HYDAC傳感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法

HYDAC傳感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法

產(chǎn)品介紹：

通過多層掩膜組合使用完成深腔內(nèi)復雜結(jié)構的

加工。這種工藝方法解決了在深腔內(nèi)部

膜結(jié)構100 kPa對壓力傳感器芯片具有線性度

好、靈敏度高的特點,樣機經(jīng)測試滿量程內(nèi)靈敏

進行涂膠和光刻的技術難題,對準和光刻工藝都

工的技術瓶頸。在此工藝基礎上設計加工的島

在同一平面內(nèi)完成,提高了加工精度,解決了深腔

內(nèi)部帶有島結(jié)構的多層復雜結(jié)構壓力傳感器加

度達到了0.514 mV/(V·kPa),線性度達到0.12%,

重復性達到0.04%。

性能：

壓力傳感器，可選充膠，功耗；可進行壓力

主要應用于：醫(yī)療設備，氣體流量測量，通風

和溫度測量，提供溫度補償；具有高線性或高

靈敏度可進行選擇；具有優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。

設備，高度測量，氣壓計，輪胎壓力等。

型號：

ETS 4144-A-000 

ETS 4548-H-000 

EVS 1000-020 

EVS 1000-080 

EVS 1000-350 

EVS 3100-1 

HDA 4744-A-006-031 

HDA 4744-A-016-000 

HDA 4744-A-016-031 

HDA 4744-A-060-000 

HDA 4744-A-100-000

HDA 4744-A-160-000 

HDA 4744-A-250-000

HDA 4744-A-400-000 

HDA 4744-A-600-000 

HDA 4744-B-100-000 

EVS 3100-2 

EVS 3100-3 

EVS 3100-5

EVS 3100-H-1 

HDA 4444-B-100-000 

HDA 4444-B-250-000 

HDA 4445-A-016-000 

HDA 4445-A-250-000 

HDA 4445-A-400-000 

HDA 4445-B-250-000 

HDA 4445-B-600-000 

HDA 4740-A-400-010 

HDA 4744-A-006-000 

HDA 4744-B-250-000 

HDA 4744-B-600-000 

HDA 4744-B-600-138 

HDA 4745-A-006-000 

EVS 3100-H-2 

EVS 3100-H-3 

EVS 3100-H-5 

EVS 3110-H-1 

EVS 3110-H-2 

EVS 3110-H-3 

EVS 3110-H-5

HDA 7446-A-250-000 

EDS1791-N-016-000

EDS1791-N-040-000

EDS1791-N-100-000

EDS1791-N-250-000

EDS1791-N-400-000

EDS1791-N-600-000

EDS1791-N-600-009(450bar)

EDS1791-P-009-000(-1...+9bar)

EDS1791-P-010-016(0..5V)

EDS1791-P-016-000

EDS1791-P-016-009(10bar)

EDS1791-P-040-000

EDS1791-P-050-016(0..5V)

EDS1791-P-100-000

HDA 3700-A-400-099 

HYDAC傳感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法